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罕王微電子硅晶圓清洗用超純水系統

作者:北京水處理設備公司發布時間:2018-06-20

  項目背景:

  縱觀世界,當智能手機、汽車電子、機器人與無人機等產業在一點一點悄然崛起時,MEMS也在走進人們的視野中。MEMS(全稱Micro Electromechanical System),中文稱微機電系統(以下簡稱微電子),是一種尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置,主要由傳感器、動作器(執行器)和微能源三大部分組成。微電子主要分為傳感MEMS技術、生物MEMS技術、MEMS光學掃描儀與射頻MEMS技術四大類,目前我國在傳感MEMS技術這一方面發展較為火熱。MEMS作為一項革命性的新技術,其發展關系到我國科技的發展,產業前景不可估量。

  罕王微電子(遼寧)有限公司是一家以MEMS傳感器設計及制造生產為核心的高科技中美合資企業。主營業務為MEMS高端傳感器及其配套電子產品,萊特萊德為其提供硅晶圓清洗用超純水系統。

  項目內容:

  提供硅晶圓清洗用超純水系統,產水符合美國ASTM D5127電子及半導體業用純水水質TypeE-1.2,高于中國國家電子級超純水標準GBT11446.1-1997EW-Ⅰ標準。

 

  項目介紹:

  項目工藝流程:原水-預處理-雙級反滲透-脫氣系統-EDI系統-脫氣系統-拋光混床-終端顆粒去除器

  MEMS芯片設計和制造中少不了硅晶圓的身影,根據硅晶圓所需清洗用水標準,萊特萊德為其提供美標電子超純水定制工藝方案,其中,對于TOC(總有機碳)和DO溶解氧(溶解氧)等指標上要求極高。為此工藝中設置了脫氣系統,是為脫去可溶性氣體特別是二氧化碳(含量過多會導致pH值下降),這樣才能保證產出的超純水的純度。超純水系統中TOC(總有機碳)相對含量較高會影響器件性能,為此設置除TOC 裝置。最后采用終端過濾系統,避免取用超純水時受到二次污染,確保水質對顆粒物的高指標要求。

  對于此次項目萊特萊德采用BOT(建設-移交-運營)模式,前期預先繳付押金,后期每月繳付運營費用,為期五年。五年中,一切運營維護都由萊特萊德承擔,客戶可以在前期較少投資的情況下就使用到美標1.2級超純水。五年期滿后,進行設備轉讓。BOT模式對于承建企業技術水平要求較高,擁有規模大、工程周期長、經營期限長等特點,這些也決定了工程建設的難度與風險。

 

  萊特萊德EDI超純水設備

  工藝優勢:

  1、系統所用的超純水專用膜,采用膜表面高分子嫁接技術,不僅耐酸堿清洗、抗高污染,還可以加快離子遷移速度,使產水TOC在20PPB以下。

  2、系統穩定自動化程度高,產水水質穩定。采用PLC智能化程序,用戶能靈活方便地進行操作。

  3、各項指標監測嚴格,國內只有極少數公司可達到美標超純水出水指標。

 

  罕王微電子項目超純水系統整體

  隨著人們生活應用的不斷豐富,我國MEMS市場也在逐漸擴大,與此同時我國微電子行業面臨著技術上的挑戰。萊特萊德不僅在技術上堅持的不斷完善與創新,在后期維護處理上也盡可能做到為用戶考慮。未來萊特萊德將會多方涉及微電子行業,為我國的微電子行業增加助力!

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