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集成電路生產用超純水設備

作者:北京水處理公司來源:超純水設備發布時間:2015-05-25

  一、集成電路生產用超純水設備概述

  集成電路生產用超純水設備依據集成電路用水需求,采用反滲透技術和EDI技術相結合,經過反滲透技術過濾掉水中的大部分雜質,再經過EDI深度處理,完全去掉水中的導電離子,出水電阻率可以達到18兆歐以上,完全滿足集成電路生產用水需求。

 

超純水設備

超純水設備

 

  二、集成電路生產用超純水設備工作原理

  供給原水進入EDI系統,主要部分流入樹脂/膜內部,而另一部分沿膜板外側流動,以洗去透出膜外的離子,SHU脂截留水中的容存離子,被截留的離子在電極作用下,陰離子向正極方向運動,陽離子向負極方向運動,陽離子透過陽離子膜,排出樹脂/膜之外,陰離子透過陰離子膜,排出樹脂/膜之外,濃縮了的離子從廢水流路中排出,無離子水從樹脂/膜內流出。

 

  三、集成電路生產用超純水設備工藝流程

  自來水→電動閥→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→PH值調節系統→高效混合器→精密過濾器→高效反滲透→中間水箱→EDI水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點

 

集成電路生產用超純水設備

集成電路生產用超純水設備

 

  四、集成電路生產用超純水設備特點

  該系統由單片機(PLC)控制,一切動作均在預設程序下自動進行,具備全自動功能(自動制水、自動沖洗、原水缺水/水箱滿水自動停機)。

  系統結構布置緊湊,占地面積小,有效節約空間。

  系統能耗低,有效節約能源。

  耗材壽命長,制水成本低廉。

  系統運行可靠,供水管路封閉,出水水質穩定。

 

  以上是集成電路生產用超純水設備的簡單介紹。萊特萊德作為專業的北京水處理設備研發、生產和銷售企業,我們擁有完善的生產、銷售和售后服務系統,保證每個客戶乘興而來,滿意而歸。公司擁有一批專業從事水處理項目設計的工程師與相關設備制造、安裝、調試的高素質技術人員。設備嚴格按照合理的設計方案生產,采用合格的原材料,對每一臺出場的設備進行嚴格檢測,確保每一臺出廠的設備,都是好的。

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